10月18日，湖北興福電子材料股份有限公司獲悉，該公司于今年二季度新投入試生產(chǎn)4萬(wàn)噸電子級硫酸產(chǎn)線(xiàn)，截止目前，該產(chǎn)線(xiàn)已基本達產(chǎn)達效。產(chǎn)出的電子級硫酸產(chǎn)品的關(guān)鍵指標Fe、Cr、Ni等金屬離子小于5ppt，30nm顆粒度低于50pcs/mL，達到G5等級，品質(zhì)達到國際先進(jìn)水平，并且成功出貨供應國內主流芯片企業(yè)。

電子級硫酸又稱(chēng)高純硫酸、超純硫酸，是一種微電子技術(shù)發(fā)展過(guò)程中不可缺少的關(guān)鍵基礎化學(xué)試劑，廣泛應用于半導體、超大規模集成電路領(lǐng)域。高品質(zhì)電子級硫酸制備的關(guān)鍵技術(shù)長(cháng)期被美國、德國和日本等國家壟斷，我國長(cháng)期依賴(lài)進(jìn)口，隨著(zhù)國內28nm及以下先進(jìn)制程的量產(chǎn)，進(jìn)一步加劇超高品質(zhì)電子級硫酸短缺的局面，嚴重影響我國半導體產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展。
興福電子自2017年第一套電子級硫酸生產(chǎn)線(xiàn)建成以來(lái)，圍繞電子級硫酸生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù)與應用領(lǐng)域，通過(guò)5年的工藝創(chuàng )新及技術(shù)攻關(guān)，已掌握超高純電子級硫酸制備和微納顆粒脫除等系列關(guān)鍵技術(shù)，可穩定生產(chǎn)供應G5等級的電子級硫酸產(chǎn)品。
據了解，此前，興福電子已在國內率先實(shí)現28nm及以下先進(jìn)制程用超高純電子級硫酸批量生產(chǎn)，成功供應國內外知名半導體企業(yè)，打破了國際壟斷。4萬(wàn)噸電子級硫酸產(chǎn)線(xiàn)正式投產(chǎn)后，興福電子將擁有 6萬(wàn)噸/年電子級硫酸產(chǎn)能，成為目前國內產(chǎn)能規模最大的電子級硫酸生產(chǎn)企業(yè)。

此外，該公司還擁有電子級磷酸、功能性配方化學(xué)品等多品類(lèi)濕電子化學(xué)品，其自主開(kāi)發(fā)的電子級磷酸產(chǎn)品同樣打破了國際壟斷。據介紹，經(jīng)過(guò)十余年的技術(shù)革新，目前公司電子級磷酸產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)指標Fe等金屬離子達到3ppb以?xún)�，并成功應用于國際先進(jìn)的芯片產(chǎn)線(xiàn)。據初步估算，該公司電子級磷酸產(chǎn)品國內市場(chǎng)占有率超60%，并大量出口海外客戶(hù)。與此同時(shí)，該公司的硅蝕刻液，金屬蝕刻液、BOE蝕刻液、以及清洗液等功能性配方化學(xué)品，產(chǎn)品品質(zhì)達到國內領(lǐng)先水平，并且穩定供應國內外知名芯片企業(yè)。近年來(lái)，該公司致力于打造國際一流的芯片用電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)基地，持續加強電子化學(xué)品 核心技術(shù)的開(kāi)發(fā)升級和產(chǎn)業(yè)化應用，已成長(cháng)為國內濕電子化學(xué)品行業(yè)頭部企業(yè)。